[发明专利]分离栅极闪存的故障检测方法

权利要求书

1.一种分离栅极闪存的故障检测方法，其中所述分离栅极闪存具有由多个存储单元所组成的存储单元阵列，每一个所述存储单元位于多条位线与多条字线的相交处，且每一个所述存储单元至少具有浮动栅及选择栅极，而所述字线连接所述选择栅极，所述方法包括：

对所述分离栅极闪存进行井区漏电流测试；

对所述分离栅极闪存中所有的存储单元进行擦除操作；

检查所述存储单元的第一个位映象，以找出发生故障的存储单元；

读取发生故障的存储单元的电流值，以判断发生故障的存储单元是否真的故障，若「是」则继续进行下面的步骤，若「否」则进行到第一子系统；以及

分析发生故障的所述存储单元的故障类型，其中

若整条所述位线的所述存储单元发生故障，则归类为位线故障的故障类型，进行到第二子系统，

若整条所述字线的多个所述存储单元发生故障，则归类为字线故障的故障类型，进行到第三子系统。

2.如权利要求1所述的分离栅极闪存的故障检测方法，其中进行到所述第二子系统包括：

读取发生故障的整条所述位线的所述存储单元的电流值；

判断发生故障的整条所述位线的所述存储单元的电流值是否相同，若「是」则继续进行下面的步骤，若「否」则进行到第一子系统；

读取与发生故障的所述位线相邻的两条位线的所有存储单元的电流值；

将发生故障的位线的所述存储单元的电流值与相邻的两条位线的存储单元的电流值进行比较，以分析发生故障的所述存储单元的故障类型，其中

若发生故障的所述位线的所述存储单元的电流值与相邻的两条位线中的至少一条上的存储单元的电流值相同，则归类为位线-位线间短路的故障类型，

若发生故障的所述位线的所述存储单元的电流值与相邻的两条位线的存储单元的电流值均不相同，则归类为位线-字线间短路的故障类型；以及

记录所述存储单元发生故障的位置。

3.如权利要求1所述的分离栅极闪存的故障检测方法，其中进行到所述第三子系统包括：

读取发生故障的整条字线的多个所述存储单元的电流值；

当整条字线的多个所述存储单元发生故障时，判断发生故障的存储单元的电流值是否相同，若「是」则归类为浮动栅-浮动栅间短路及/或浮动栅-选择栅极间短路的故障类型并继续进行下面的步骤，若「否」则进行到第一子系统；以及

记录所述存储单元发生故障的位置。

4.如权利要求1至3中任一项所述的分离栅极闪存的故障检测方法，其中进行到所述第一子系统包括：

对所述分离栅极闪存中所有的存储单元进行编程操作；

检查所述存储单元的第二个位映象，以找出发生故障的所述存储单元；

读取发生故障的所述存储单元的电流值，以判断发生故障的所述存储单元是否真的故障，若「是」则继续进行下面的步骤，若「否」则归类为其它故障的故障类型；

分析发生故障的所述存储单元的故障类型，其中

若所述位线相邻的两个存储单元发生故障，则归类为成对故障的故障类型，

若发生故障的所述存储单元的故障是周期性地出现，则归类为周期性故障的故障类型，进行到第四子系统，

若发生故障的所述存储单元的故障是随机地出现，则归类为其它故障的故障类型；以及

记录所述存储单元发生故障的位置。

5.如权利要求4所述的分离栅极闪存的故障检测方法，其中进行到所述第四子系统，包括：

分析发生故障的所述存储单元的故障类型，其中

若仅一个发生故障的所述存储单元为周期性地出现，则归类为布局故障的故障类型，

若整条所述字线的所述存储单元发生故障的情况为周期性地出现，归则类为对准偏移故障，

若不时所述布局故障及所述对准偏移故障的故障类型，则归类为其它故障的故障类型；以及

记录所述存储单元发生故障的位置。