[发明专利]“一”字形结构三维微型实心、空心硅针和硅刀无效
| 申请号： | 200610143214.X | 申请日： | 2006-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1994486A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 岳瑞峰;王燕;刘理天 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | A61M5/32 | 分类号： | A61M5/32;A61M5/158;A61B17/3209;A61B10/00;H01L21/027;H01L21/306;G03F7/00;C23F1/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 字形 结构 三维 微型 实心 空心 | ||
【说明书】：
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