[发明专利]对样品进行显微处理的组合工具有效
| 申请号: | 200610143158.X | 申请日: | 2006-09-28 |
| 公开(公告)号: | CN1945338A | 公开(公告)日: | 2007-04-11 |
| 发明(设计)人: | B·比杰斯;M·穆维塞;B·J·M·波曼斯;H·N·斯凌格兰;H·G·塔派尔 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
| 主分类号: | G01N35/02 | 分类号: | G01N35/02;G01N1/28;G01N13/10;H01J37/18 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 蔡民军 |
| 地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 样品 进行 显微 处理 组合 工具 | ||
【说明书】:
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