[发明专利]气体供给装置及基板处理装置有效
| 申请号： | 200610142776.2 | 申请日： | 2006-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1958170A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 五味久;齐藤哲也;挂川崇;间瀬贵久;小泉真;多田国弘;若林哲;成嶋健索;方成 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05B1/14 | 分类号： | B05B1/14;C23C16/448;C23C14/00;C23F4/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 供给 装置 处理 | ||
【权利要求书】：
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