[发明专利]晶舟辅助装置无效

专利信息
申请号: 200610142090.3 申请日: 2006-10-08
公开(公告)号: CN101159244A 公开(公告)日: 2008-04-09
发明(设计)人: 罗志仁;戴碧辉;邹俊杰;陈秀怡;蒋文国 申请(专利权)人: 京元电子股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 谢丽娜;陈肖梅
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 辅助 装置
【权利要求书】:

1.一种晶舟辅助装置,至少包括有:

一导轨框,其包括有一第一导轨槽板、一第二导轨槽板及至少一连接臂,其通过各该连接臂而分别连接该第一导轨槽板及该第二导轨槽板的侧边,且该第一导轨槽板及该第二导轨槽板在对应于复数个设置于一晶舟的晶舟沟槽的位置上分别设有一导轨槽,而各个该导轨槽之一端的宽度向该导轨槽中间呈现渐缩的态样,可将该导轨框串接于该晶舟,藉以令该导轨槽串接其所对应的该晶舟沟槽。

2.如权利要求1所述的晶舟辅助装置,尚包括有一底座、一侧壁及一枢接器;其中,该底座用以定位该晶舟,该侧壁设于底座的侧边,而该枢接器之一端连接该侧壁,其另一端连接该导轨框,使得该导轨框得以相对该侧壁旋转,而可将该导轨框的各个该导轨槽分别串接其所对应的该晶舟沟槽。

3.如权利要求2所述的晶舟辅助装置,其中该枢接器的另一端可选择连接该第一导轨槽板、该第二导轨槽板及该连接臂的其中之一者。

4.如权利要求3所述的晶舟辅助装置,尚包括有一斜度调整机构,其与该底座相互组配,而用以调整该底座与该斜度调整机构的相对角度。

5.如权利要求4所述的晶舟辅助装置,其中该斜度调整机构包括有至少一调整壁,各个该调整壁的一端枢接该底座,而可相对该底座旋转。

6.如权利要求5所述的晶舟辅助装置,其中该调整壁的另一端设有一调整槽,且该底座设有一可枢穿该调整槽的调整螺杆,并通过一调整螺丝与该调整螺杆相互组配,而可固定该底座与该斜度调整机构的相对角度。

7.如权利要求1所述的晶舟辅助装置,其中该导轨槽一端的宽度与该晶舟沟槽的宽度一致,而该导轨槽的另一端的宽度向导轨槽中间呈现渐缩的态样。

8.如权利要求1所述的晶舟辅助装置,其中该导轨槽中间的宽度小于该晶舟沟槽的宽度。

9.如权利要求2所述的晶舟辅助装置,尚包括有一支撑块,其设于该侧壁的一面,用以限制该导轨框的旋转角度。

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