[发明专利]用于在制造设施中控制材料流的方法和系统无效
| 申请号： | 200610136608.2 | 申请日： | 2006-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1959570A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 肯尼思·J·福代斯;理查德·G·伯达;艾尔弗雷德·T·德格博茨;布赖恩·T·登顿;罗伯特·J·米尔恩 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G05B19/02 | 分类号： | G05B19/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄小临;王志森 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 制造 设施 控制 材料 方法 系统 | ||
【说明书】：
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