[发明专利]光学式检测传感器

权利要求书

1.一种光学式检测传感器，其中，

至少具有：光源；

第一光纤，对从上述光源输出的出射光进行导光；

第二光纤及第三光纤，将上述出射光照射到距上述第一光纤的端面相对距离而配置的被测定物上，接收由该被测定物反射的反射光；

第一受光元件及第二受光元件，分别接收在上述第二光纤及上述第三光纤内导光的反射光，并变换为电信号；和

运算处理单元，根据由上述第一受光元件及上述第二受光元件变换的电信号的比率，计算出上述被测定物的变位量，

上述第一光纤被配置为：该第一光纤的长度方向和上述被测定物相对于照射面的法线呈角度θ，

上述第二光纤及上述第三光纤被平行配置，且被配置为：该第二光纤及该第三光纤的长度方向和上述被测定物相对于照射面的法线呈角度θ，

上述第一光纤和、上述第二光纤及上述第三光纤，隔着上述法线相对配置，

上述第一至第三光纤，具有相对于上述光源的输出波长，dNA/dλ为4×10^-5以下的特性。

2.根据权利要求1所述的光学式检测传感器，其中，

具有V槽阵列基板，其具有以将第一至第三光纤的芯配置在同一平面上的方式形成的第一至第三V槽，

固定配置在上述V槽中的上述第一至第三光纤的端面、及上述V槽阵列基板的端面位于同一平面上，且该端面在相对于上述法线垂直的方向上形成。

3.根据权利要求1或2所述的光学式检测传感器，其中，上述第一光纤和上述法线所呈的角度θ、以及上述第二光纤及上述第三光纤和上述法线所呈的角度θ，为5°＜θ≤10°。

4.根据权利要求1至3的任意一项所述的光学式检测传感器，其中，

当作为上述光源适用发光二极管时，

在上述光源和上述第一光纤之间设置带通滤波器，其透过中心波长与该发光二极管在0℃时的光强度光谱的峰值波长相比位于长波处，且具有1nm以上20nm以下的频带宽度。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的光学式检测传感器，其中，上述第一至第三光纤，在上述光源的输出波长下的数值孔径NA为0.1以上0.15以上。

6.根据权利要求1至5的任意一项所述的光学式检测传感器，其中，上述第一至第三光纤，在上述光源的输出波长下的模场直径为7.9μm以上9.3μm以下。