[发明专利]反射式高能电子衍射仪用电子枪电源

权利要求书

1.一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源，包括对偏转器施加偏转电压的偏转电源，在超高真空中对灯丝和栅极施加高压的高压电源，在栅极施加栅极电压的栅极电源，增加灯丝工作电流的灯丝电源；其特征在于：所述高压电源为-25kv，由高压部分、低压调整两部分组成，其中高压部分包括：

谐振电路，其输出信号经变压器升压送至倍压整流电路；

倍压整流滤波电路，经10倍压整流滤波产生-25KV高压，接至电子枪灯丝和栅极上；

低压调整部分包括：

调整管(T1)，接至高压部分第1电感器(L1)及第2驱动管(T2)，由第2驱动管(T2)驱动；

第2驱动管(T2)，接至过流保护及故障报警电路的输出端及电压电流误差放大电路的输出端；

过流保护及故障报警电路，输入信号来自高压部分及电流取样放大电路的输出，输出经缓启电路；

高压测量显示电路，输入信号为高压部分的电压测量端(Vd)，输出信号至显示器；

取样放大电路，包括电压、电流取样放大电路，电压取样放大电路将缓启电路输出的给定信号及高压部分的电压反馈端信号叠加，输出用来调节第2驱动管(T2)的基极电压；电流取样放大电路，将来自高压部分的电流反馈端的电位与来自5V的参考电位比较接至过流保护及故障报警电路；

缓启动电路，输入信号来自过流保护及故障报警电路；

所述偏转电源为两套结构相同的X、Y偏转系统提供静电偏转的±400V的电源，其中一套包括低压信号电路、高压放大电路，高压放大电路输入信号来自提供两极性相反的电压信号的低压信号电路，输出接至偏转板。

2.按权利要求1所述反射式高能电子衍射仪用电子枪电源，其特征在于：所述倍压整流滤波电路十倍压整流结构，电流反馈端(If)接电流取样放大电路，电压测量端(Vd)接高压测量显示电路，电压反馈端(Vf)接电压取样放大电路。

3.按权利要求1所述反射式高能电子衍射仪用电子枪电源，其特征在于：所述过流保护及故障报警电路包括第1-1运算放大器(U1A)，第3驱动管(T3)、第11～12二极管(D11～D12)、第4-2运算放大器(U4B)、第6-1光电藕合器(U6A)及第6-2光电藕合器(U6B)，其中第1-1运算放大器(U1A)作为比较器，其反相端经分压电阻接电源2.5V，提供一个参考电位，同相端接第1～2三极管(G1～G2)的发射极节点，输出分两路：一路经第12二极管(D12)分别接第3驱动管(T3)，第2驱动管(T2)的基极，影响其基极电位；第1-1运算放大器(U1A)另一路输出经第6-1光电藕合器(U6A)及第6-2光电藕合器(U6B)接缓启电路。

4.按权利要求1所述反射式高能电子衍射仪用电子枪电源，其特征在于：所述缓启电路包括第4-1运算放大器(U4A)、第4-2运算放大器(U4B)、第17～18二极管(D17～D18)、第8电容(E8)及第4～5三极管(T4～T5)，其第4-1运算放大器(U4A)输入接5V电源，输出接至第4-2运算放大器(U4B)同相端，第4-2运算放大器(U4B)的输入还经第4三极管(T4)、启动开关(R/S)接15V电源或地，第4-2运算放大器(U4B)输出经第5三极管(T5)的集电极及第18二极管(D18)接电源；第4-2运算放大器(U4B)的输出经第1调节电位器(W1)改变其电位后至电压取样放大电路；第8电容(E8)跨接在第4三极管(T4)的集电极与地之间。

5.按权利要求1所述反射式高能电子衍射仪用电子枪电源，其特征在于：所述电压取样放大电路包括第2-1运算放大器(U2A)、第14  极管(D14)、第19～20二极管(D19～D20)，第2-1运算放大器(U2A)反相端的信号为缓启电路输出的给定信号及高压部分电压反馈端(Vf)信号的叠加信号，其输出端接至第2驱动管(T2)的基极，调节第2驱动管(T2)的基极电压。

6.按权利要求1所述反射式高能电子衍射仪用电子枪电源，其特征在于：所述电流取样放大电路第2-2运算放大器(U2B)、第13二极管(D13)、第15～16二极管(D15～D16)及第61电阻(R61)组成，第2-2运算放大器(U2B)输入端信号是由来自高压部分的电流反馈端(If)的、经第27电阻(R27)形成电位与来自5V的参考电位比较的信号，其输出经第13二极管(D13)接至第2驱动管(T2)及过流保护及故障报警电路中第1-1运算放大器(U1A)的同相端。