[发明专利]限界等离子体和增强流动导通性的方法和装置有效
| 申请号： | 200610127801.X | 申请日： | 2006-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN101008072A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 卡洛·贝拉;丹尼尔·霍夫曼;叶雁;迈克尔·库特内;道格拉斯·A·布池贝尔格尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/32;C23C14/04;C23C14/54;C23C16/513;C23F4/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 限界 等离子体 增强 流动 通性 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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