[发明专利]一种原位表征金属薄膜氧化反应动力学规律的方法无效
| 申请号： | 200610119292.6 | 申请日： | 2006-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN1971262A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 蒋益明;罗宇峰;钟澄;李劲 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01N27/16 | 分类号： | G01N27/16;G01N31/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 原位 表征 金属 薄膜 氧化 反应 动力学 规律 方法 | ||
【权利要求书】：
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