[发明专利]无助焊剂的凸点回流工艺有效

专利信息
申请号: 200610119047.5 申请日: 2006-12-04
公开(公告)号: CN101197296A 公开(公告)日: 2008-06-11
发明(设计)人: 王津洲;李润领 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 逯长明
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 无助 焊剂 回流 工艺
【权利要求书】:

1.一种无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,包括如下步骤:纯化过程:使焊料在熔融或者半熔融状态下保持40秒至540秒;成球过程:使焊料完全熔融,形成球状凸点;冷却。

2.根据权利要求1所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,纯化过程中使焊料保持熔融或者半熔融的温度大于等于Tc-4℃并且小于等于Tc+4℃,其中Tc为焊料的熔点。

3.根据权利要求2所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,纯化过程为一个温度在Tc-4℃至Tc+4℃之间的升温过程。

4.根据权利要求3所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,所述纯化过程包括至少一个恒温阶段,且每个恒温阶段的时间都为40秒至180秒。

5.根据权利要求4所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,所述纯化过程的一个以上恒温阶段的各温度数值呈线性关系。

6.根据权利要求5所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,所述纯化过程包括三个恒温阶段,且三个恒温阶段中每一阶段的时间都为40秒至180秒。

7.根据权利要求6所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,所述纯化过程的三个恒温阶段中,第一恒温阶段的温度为Tc-2℃,第二恒温阶段的温度为Tc,第三阶段的温度为Tc+2℃。

8.根据权利要求1所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,成球过程中使焊料完全熔融形成球状凸点的温度大于等于Tc+15℃并且小于等于Tc+65℃。

9.根据权利要求1所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,成球过程所需时间为40秒至180秒。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,所述纯化过程以及成球过程在还原性气体氛围中进行,所述冷却工艺在还原性气体或者惰性气体或者氮气中进行。

11.根据权利要求10所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,所述还原性气体为氢气氛围或者甲酸气体氛围。

12.一种无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,包括如下步骤:

在权利要求1至11中任一项所述的工艺条件下进行第一次回流;

第一次清洗凸点;

在权利要求1至11中任一项所述的工艺条件下进行第二次回流。

13.根据权利要求12所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,第一次清洗凸点的工艺为:采用酸性试剂去除凸点上残留的杂质;去离子水冲洗。

14.根据权利要求13所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,所述酸性试剂为甲基磺酸或者醋酸或者甲酸。

15.根据权利要求12所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,第二次回流之后还包括第二次清洗凸点的步骤。

16.根据权利要求15所述的无助焊剂的凸点回流工艺,其特征在于,所述第二次清洗凸点的工艺为去离子水淋洗、甩干。

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