[发明专利]不对称精密离子抛光系统样品夹具及其应用

权利要求书

1.一种不对称精密离子抛光系统样品夹具，具有如下所述的结构：

位于底部的支撑轴；

与支撑轴相连的样品承载平台；

两个样品固定夹臂，位于样品承载平台边缘的相对位置，从所述平台向上延伸并向内弯折；

其特征在于两个样品固定夹臂的长度不相等，夹臂末端之间连线的中点偏离支撑轴的轴心。

2.如权利要求1所述的不对称精密离子抛光系统样品夹具，其特征在于，在两个固定夹臂长度相等的基础上增加其中一臂长度，并以相等量减少另一臂长度，使两个固定夹臂长度不等。

3.如权利要求2所述的不对称精密离子抛光系统样品夹具，其中对固定夹臂增加或减少长度的量在0.25～0.5mm之间。

4.一种不对称精密离子抛光系统样品夹具的应用方法，包括下列步骤：

(1)使用普通的双臂等长夹具固定样品，于精密离子抛光系统中减薄样品；

(2)检查样品被减薄的区域是否为目标区域，如果为目标区域则完成样品减薄；如果非目标区域则进行下一步骤；

(3)使用权利要求1～3所述不对称精密离子抛光系统样品夹具固定样品，于精密离子抛光系统中减薄样品，完成样品减薄。