[发明专利]一种玻璃衬底上制备牢固碳膜的方法

权利要求书

1.一种玻璃衬底上制备牢固碳膜的方法，其特征在于，按如下具体制作步骤进行：

1)先在玻璃上沉积一层铬、铂、钼、钽、钛、锡、铋、锑、铟中的任何一种金属薄膜；

2)再在所述金属薄膜上沉积铁、钴、镍、钯中的任何一种金属的薄膜；

3)然后用常规的化学气相沉积法生长碳膜，生长碳膜时的衬底温度为400℃～600℃。

2.根据权利要求1所述的玻璃衬底上制备牢固碳膜的方法，其特征在于，所述步骤1)中金属薄膜的厚度为0.1nm至50nm，所述步骤2)中金属薄膜的厚度为10nm至50nm。

3.根据权利要求1所述的玻璃衬底上制备牢固碳膜的方法，其特征在于，所述步骤1)、步骤2)中的金属能通过电子束蒸发，溅射方法制备。

4.一种玻璃衬底上制备坚固碳膜的方法，其特征在于，按如下具体制作步骤进行：

1)在玻璃上沉积铬、铂、钼、钽、钛、锡、铋、锑、铟中的任何一种金属与铁、钴、镍、钯中的合金或其金属氧化物作为催化剂；

2)然后用常规的化学气相沉积法生长碳膜，生长碳膜时的衬底温度为400℃～600℃。

5.根据权利要求4所述的玻璃衬底上制备牢固碳膜的方法，其特征在于，所述步骤1)在制作合金薄膜催化剂时，利用电子束蒸发的真空镀膜系统，采用多组分共蒸发的方法，能任意控制薄膜的组分和厚度。

6.根据权利要求4所述的玻璃衬底上制备牢固碳膜的方法，其特征在于，所述步骤1)中其合金薄膜厚度为10nm至500nm。

7.根据权利要求4所述的玻璃衬底上制备牢固碳膜的方法，其特征在于，所述步骤1)中的催化剂薄膜金属氧化物能通过电子束蒸发，氧化气氛溅射，金属热处理方法制备。