[发明专利]背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法有效
| 申请号： | 200610117106.5 | 申请日： | 2006-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1933149A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 叶振华;周文洪;胡晓宁;王晨飞;丁瑞军;何力 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01L25/00 | 分类号： | H01L25/00;H01L25/18;H01L27/14;H01L21/00;G01J1/42;G02B3/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 田申荣 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 背向 集成 透镜 红外 平面 探测器 制备 方法 | ||
【说明书】：
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