[发明专利]试样台无效
| 申请号： | 200610116904.6 | 申请日： | 2006-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101153855A | 公开（公告）日： | 2008-04-02 |
| 发明（设计）人： | 赖李龙 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/18 | 分类号： | G01N23/18;G01N13/10;H01J37/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 试样 | ||
1.一种试样台，应用于聚焦离子束断面分析，包括支撑杆和载物台，所述载物台包括与所述支撑杆连接的第一载物面，其特征在于：所述载物台还至少包括一与所述第一载物面相交的第二载物面。
2.如权利要求1所述的试样台，其特征在于：所述第一载物面和第二载物面为平面，交角为140至179度。
3.如权利要求1所述的试样台，其特征在于：所述载物台沿所述支撑杆方向的投影为圆形或椭圆形。
4.如权利要求1所述的试样台，其特征在于：所述的载物台沿所述支撑杆的投影为多边形。
5.如权利要求1或2所述的试样台，其特征在于：所述第一载物面和第二载物面为平面半圆形。
6.如权利要求1或2所述的试样台，其特征在于：所述第一载物面和第二载物面为弓形。
7.一种试样台，应用于聚焦离子束断面分析，包括支撑杆和载物台，所述载物台包括与所述支撑杆连接的第一载物面，其特征在于：
所述载物台还至少包括与所述第一载物面相交的第二载物面和第三载物面；
在所述第一载物面和/或第三载物面上形成有沟槽。
8.如权利要求7所述的试样台，其特征在于：所述沟槽的底面和其相应载物面平行。
9.如权利要求7所述的试样台，其特征在于：所述第二载物面、第三载物面与所述第一载物面的交角为140至179度。
10.一种试样台，应用于聚焦离子束断面分析，包括支撑杆和载物台，所述载物台包括与所述支撑杆连接的第一载物面，其特征在于：
所述载物台还至少包括与所述第一载物面相交的第二载物面和第三载物面；
在所述第一载物面和/或第三载物面上形成有夹板。
11.如权利要求10所述的试样台，其特征在于：所述夹板具有螺孔，在所述螺孔中具有螺丝钉。
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