[发明专利]一种硼磷硅玻璃膜回流方法有效
| 申请号： | 200610116167.X | 申请日： | 2006-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101148326A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 常建光;周永昌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/02 | 分类号： | C03C17/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硼磷硅 玻璃 回流 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种硼磷硅玻璃膜(BPSG)回流方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
将沉积了硼磷硅玻璃膜的晶片装入炉管；
通过干回流(Dry Reflow)软化硼磷硅玻璃膜；
通过湿回流(Wet Reflow)填充硼磷硅玻璃膜中的空隙。
2.如权利要求1所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述干回流的过程中需要持续充入氮气。
3.如权利要求1所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述干回流的过程中需要在通入氮气的同时加温。
4.如权利要求3所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述干回流的过程中加温使温度升至预定温度，在5分钟到15分钟之后停止氮气的通入。
5.如权利要求4所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述预定温度为600℃～900℃。
6.如权利要求1所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述湿回流的过程中需要同时充入氢气和氧气。
7.如权利要求1或5所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述湿回流的温度保持干回流时的预定温度不变。
8.如权利要求6所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述湿回流持续5分钟到15分钟之后停止氢气和氧气的通入。
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