[发明专利]气体注射装置

权利要求书

1.一种气体注射装置，用于向反应腔室供气，包括喷嘴，其特征在于，所述的喷嘴上设有至少两组与反应腔室相通的气体通道，每组气体通道分别设有至少一个进气口和至少一个出气口。

2.根据权利要求1所述的气体注射装置，其特征在于，所述的至少两组气体通道包括中部气体通道组和周边气体通道组，所述中部气体通道组包括一条或多条中部气体通道，设于喷嘴的中心轴线附近；所述周边气体通道组包括一条或多条周边气体通道，设于远离喷嘴中心轴线的位置。

3.根据权利要求2所述的气体注射装置，其特征在于，所述的中部气体通道有一条，设于喷嘴的中心轴线处，中部气体通道的上部设有一个中部进气口；下部设有多个中部出气口。

4.根据权利要求3所述的气体注射装置，其特征在于，所述的多个中部出气口包括一个中心出气口和多个边缘出气口，所述中心出气口设于喷嘴的中心轴线处，中心出气口的方向沿喷嘴的中心轴线方向；所述多个边缘出气口均布在中心出气口的周围，边缘出气口的方向与喷嘴的中心轴线成20～70°的夹角。

5.根据权利要求4所述的气体注射装置，其特征在于，所述中心出气口的直径为3～10毫米。

6.根据权利要求5所述的气体注射装置，其特征在于，所述中心出气口的直径为5毫米。

7.根据权利要求4所述的气体注射装置，其特征在于，所述边缘出气口的方向与喷嘴的中心轴线成30°～45°的夹角。

8.根据权利要求2所述的气体注射装置，其特征在于：所述的多个周边气体通道均布在中部气体通道的周围，且多个周边气体通道之间相互连通，周边气体通道的上部设有一个周边进气口；下部设有多个周边出气口，均布在远离喷嘴中心轴线的位置。

9.根据权利要求8所述的气体注射装置，其特征在于，所述的周边出气口的方向与喷嘴的中心轴线的夹角为30°～90°。

10.根据权利要求3或8所述的气体注射装置，其特征在于，所述的中部进气口和/或周边进气口设有单独的供气通道，并在供气通道上设有单独的气体流量控制装置。