[发明专利]喷墨图案转移制程及其装置

说明书

技术领域

本发明是有关于一种喷墨制程，且特别是有关于一种喷墨图案转移制程及其装置。

背景技术

传统以喷墨印刷(inkjet printing)制程来形成预定图案具有下列优点，例如不需使用光罩或网版，仅需进行单一步骤即可将光阻油墨任意印刷成所需的图案(包括文字、规则或不规则等复杂图案)，使得图案化线路的制作更为方便，而且能缩短制程时间。另外，由于喷墨印刷制程仅需进行图案处理、喷墨、印刷以及固化等简单步骤，而不需进行曝光、显影等步骤，因此无须使用微影制程中的显影剂以及底片清洁液，并减少光阻剂的耗用量，而可以减少环保问题的产生。此外，喷墨印刷制程所使用的设备少、材料使用率高以及制程周期短，因此可降低制程成本。

图1绘示一种具有通孔的基板的示意图，而图2绘示现有的喷墨印刷制程直接在基板表面上形成预定图案的示意图。请参考图1，现有基板100以机械钻孔方式形成通孔102，并以电镀制程形成导电层104在通孔102的内壁及孔缘之后，再以图2的喷头200直接在基板100的上方喷出光阻油墨202，以形成预定图案。然而，因为油墨202具有流动性，遇到较大孔径的通孔102时，会陷入于通孔102中。除非通孔102的孔径很小加上特殊配方的油墨(如高黏度)；亦或是通孔102内已被填孔材料或油墨填满，才可阻挡油墨202陷入，否则就不能有效地遮蔽通孔102上方和周围表面。

特别是在光阻喷墨制程中，若光阻油墨202不能有效地遮蔽通孔102上方和周围表面，将使通孔102内及孔缘上的导电层104暴露于光阻油墨202之外而被后续的蚀刻制程侵蚀，因而造成断路或可靠度不佳等问题。

发明内容

本发明的目的就是在提供一种喷墨图案转移制程，可转印一预定的成膜图案在基板上，以改善现有喷墨印刷制程。

本发明提出一种喷墨图案转移制程，包括下列步骤：首先，提供一载具，并喷印油墨在载具上以形成一成膜图案；将成膜图案与一基板的表面进行面对面的接触；固化成膜图案；最后，移除载具以使成膜图案转印到基板的表面上。

本发明提出另一种喷墨图案转移制程，包括下列步骤：首先，提供一载具，并喷印油墨在载具上以形成一成膜图案；半固化成膜图案；将成膜图案与一基板的表面进行面对面接触；最后，移除载具以使成膜图案转印到基板的表面上。

本发明提出一种喷墨图案转移装置，包括一载具以及一固化器。载具用以放置喷墨所形成的一成膜图案，而成膜图案适于与一基板的表面面对面接触。固化器用以固化成膜图案。

依照本发明的实施例所述，上述的基板具有至少一通孔或盲孔，通孔或盲孔中具有一导电层，而成膜图案对应覆盖于通孔或盲孔上方及周围表面。

依照本发明的实施例所述，上述的载具包括一硬板、一软板或一离型纸，其具有可承载成膜图案的一平坦表面。在另一实施例中，载具的平坦表面与成膜图案之间还具有一脱膜层。

依照本发明的实施例所述，上述的固化器例如是光固化器，其产生的光能照射于成膜图案，使其固化。

依照本发明的实施例所述，上述的固化器例如是热固化器，其产生的热能加热于成膜图案，使其固化。

本发明因采用喷墨图案转移制程，可形成预定图案在一载具上，而非直接形成在基板的表面上，尤其当基板的表面上存在有通孔或盲孔时，本发明可将载具上的预定图案转印到通孔或盲孔上方及周围表面，而不会陷入在通孔或盲孔中，进而提高制程可靠度。

为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1绘示一种具有通孔的基板的示意图。

图2绘示现有的喷墨印刷制程直接在基板表面上形成预定图案的示意图。

图3～图5绘示本发明一较佳实施例的喷墨图案转移制程的流程图。

100：基板         102：通孔

104：导电层       200：喷头

202：油墨         300：喷头

308：脱膜层       310：载具

312：成膜图案     320：基板

322：通孔         324：盲孔

326：导电层       330：光固化器、热固化器

具体实施方式