[发明专利]工程数据分析数据库的查询系统与方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种应用于数据库的查询系统与方法，尤指一种工程数据分析数据库的查询系统与方法。

背景技术

随着计算机整合制造及信息技术的发展，在晶圆制造过程中，所有可能造成产品质量变异来源的数据，均可通过工厂营运管制系统(ManufacturingExecution System，MES)及自动化的协助加以收集。部分数据并可直接藉助于MES的统计制程管制(SPC)模块，进行线上的实时监控与管制。但由于SPC只对特殊原因所造成的变异有帮助，对于共同原因所造成的变异并无帮助，也无法满足晶圆厂对不断提高产品质量与良率的需求。因此，晶圆厂为强化竞争力，极需要一套结合统计方法与数据攫取技术等分析功能的线外工程数据分析系统(Engineering Data Analysis，EDA)。

在过去8时晶圆时代，工程分析软件都是安装在工程师的个人计算机上，工程师可用PC进行分析，较为麻烦的是碰到软件必须更新版本时，信息人员就得全力动员到每位工程师的座位上进行安装，每月数次的例行更新，往往就让信息人员忙碌不已，不但影响工程分析软件的开发进度，也影响到工程师的工作效率。而进入12时晶圆时代后，不但数据分析量暴增数百倍，个人计算机有限的运算能力变得难以负荷，分析软件也需要随时因应制程技术的提升而不断更新版本，各类工程师需求趋于复杂，原有信息架构已经不敷使用。为满足晶圆厂对不断提高产品质量与良率的需求，许多晶圆厂纷纷投入许多资源来发展解决方案。

已知技术中，EDA系统主要是利用统计方法及数据攫取等技术，分析造成良率及质量异常的原因，以协助工程人员做出必要的决策，例如停机、停线、调整制程参数以及对异常产品的后续处理等。然而在数据进行分析、找出生产过程中导致低良率的原因，并将此分析结果提供给晶圆厂以做为制程上改善的同时。这些繁复的分析步骤是必须的，但往往会耗费相当多的时间进行处理。另一方面，面对庞大的数据库，分析操作者如何在庞大的数据中找到适合的参数或数据，也是另一项极具困难度的工作，费时又费力。

因此，如何研发一种工程数据分析数据库的查询系统与方法，使操作者可以最简便快速的效率获取所需的工程数据进行分析，这的确是目前此一相关领域所需积极发展研究的目标。本发明发明人等，爰精心研究，并以其从事该项研究领域的多年经验，遂提出本发明一种工程数据分析数据库的查询系统与方法，通过智能型辨识模块的导入，将工程数据分析数据库内的数据先依部门作初步的分类后，再将数据依照该部门点选的频率来排序。可节省工程师很多时间。其中系统会每天重新排序。藉此，使操作者可立即熟悉系统，同时于操作者登入系统时也可依照该登录者所属部门而分类，提供操作者最适切的实时参数及相关数据，避免时间与人力的浪费，可有效解决已知的问题，实为一不可多得的发明。

发明内容

本发明的主要目的为提供一种工程数据分析数据库的查询方法，通过智能型辨识模块的导入，将工程数据分析数据库内的数据先依部门作初步的分类后，再将数据依照该部门点选的频率来排序。可使操作者可以最简便快速的效率获取所需的工程数据进行分析。

为达上述目的，本发明的一较广义实施样态为提供一种工程数据分析数据库的查询方法，包含下列步骤a)提供工程数据分析数据库，其内具有多笔数据；b)将该工程数据分析数据库的多笔数据，依所属部门分类为多个部门所属数据区；c)分别将该多个部门所属数据区，依一选用次数排序为多个部门登录数据区；d)当操作者登录时，依该操作者所属的部门，自该多个部门登录数据区中择一选用对应者；e)记录该操作者操作选用该多个部门登录数据区的次数，并累计更新该多个部门所属数据区的该选用次数；以及f)于固定周期，重复步骤c)。

根据本发明构想，其中该工程数据分析数据库应用于半导体晶圆制造产业的工程数据分析系统(Engineering Data Analysis，EDA)。

根据本发明构想，其中该步骤b)及该步骤c)是通过智能型查询组件(Intelligence Query Component)完成。

根据本发明构想，其中该多笔数据均具有产品型号、批次、晶圆片号、制程参数、制程机台、制程规格或制造步骤等字段。

根据本发明构想，其中各字段均具有其所属的多个工程参数。

根据本发明构想，其中该操作者登录时，该部门登录数据区的数据于操作者所选的字段，依该选用次数，由多至少排序其所属的多个工程参数。