[发明专利]半导体制造的数据追踪方法与系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体制造的数据追踪方法与系统，特别是涉及一种半导体制造中利用数据仓储的子母分批追踪的方法与系统。

背景技术

半导体的晶片制造主要包括产生新批的分批作业(Split Lot)、将母/子批或同产品合并的并批作业(Merge Lot)、判定重工流程的重工作业(Rework Lot)等操作。

在分批作业处理中，子母分批追踪方法(Split Lot Tracking)是半导体厂内生产控制与工艺分析过程中相当基本且重要的工作。现行技术是建立一个批量历史数据表格(Lot History Table)，并且利用晶片处理当时的批号(Lot_ID)与站点(Ope_No)当作主键(Primary Key)。在每一笔数据中，批号(Lot_ID)中存放的是实际分批后的子批号。部分工艺处理系统的数据库设计会利用反正规化的技术再加上前一站的批号来执行追踪处理，但因为每一站点会产生近千笔数据，故无法在单一笔数据中记录所有分批的批号。

如图3所示，批量历史数据表格100显示目前晶片处理的批号与站点，其定义了一批量关键号(Lot_Key_No)与一前一批量关键号(PRE_Lot_Key_No)。该前一批量关键号为一反向指标(Backward Pointer)，用以指向该批量关键号，当要查询某一子批量时，则必须根据该前一批量关键号指向的该批量关键号，往前一批量历史数据表格搜寻。

另外，如图4所示，包括一主要(Master)批量表格210与一从属(Slave)批量表格220，其是显示目前晶片处理的批号与站点，且在从属批量表格220中定义了一批号(Lot_ID)与一终端批号(TERMINALLOT_ID)。该批号指向该终端批号，用以表示目前批量(对应该批号的批量)的子批量(对应该终端批号的批量)。同样地，当要查询某一子批量时，则必须根据该批号与该终端批号，往前一批量历史数据表格搜寻。

因此，每当在查询数据库中的完整分批记录时，必须用递归(Recursive)的方式重复读取前一站的批号，一直查询到源头数据为止，使得当要查询其中一笔分批记录时，可能需要查询近千次才可取得所欲数据。上述查询方式既复杂且缓慢，影响线上控制与分析效率甚巨。

因此，本发明提出了一种半导体制造中利用数据仓储的子母分批追踪的方法，可快速且详细地查询到所需的生产数据。

发明内容

基于上述目的，本发明实施例披露了一种数据追踪方法。读取一晶片批量的分批历史数据，并且判断是否读取到该晶片批量的分批数据尾端。若未读取到该晶片批量的分批数据尾端，则决定该晶片批量在执行一分批处理时所需的一最大分批次数。根据该最大分批次数与目前分批次数决定目前站点所需建立的虚拟子批数，并且根据该所需建立的虚拟子批数建立一目前站点的至少一虚拟子批。复制该虚拟子批的源头批量的工艺数据，以及当建立完该站点的该虚拟子批后，继续建立下一站点的虚拟子批。

本发明实施例还披露了一种数据追踪系统，包括一批数计算单元与一虚拟子批建立单元。该批数计算单元读取一晶片批量的分批历史数据，并且判断是否读取到该晶片批量的分批数据尾端。若未读取到该晶片批量的分批数据尾端，则决定该晶片批量在执行一分批处理时所需的一最大分批次数。该虚拟子批建立单元根据该所需建立的虚拟子批数建立一目前站点的至少一虚拟子批，并且复制该虚拟子批的源头批量的工艺数据。

附图说明

图1显示本发明实施例的数据追踪方法的步骤流程图。

图2显示本发明实施例的数据追踪系统的步骤流程图。

图3显示批量历史数据表格100。

图4显示主要(Master)批量表格210与一从属(Slave)批量表格220。

图5显示本发明实施例的虚拟批量历史数据表格(Virtual Reality(VR)Lot History Table)320。以及

图6显示本发明实施例的三角形410中的批量历史数据和三角形420中的批量历史数据。

附图符号说明

500～数据追踪系统

510～批数计算单元

520～虚拟子批建立单元

具体实施方式