[发明专利]芯片封装制造方法及其结构无效
| 申请号: | 200610107712.9 | 申请日: | 2006-07-20 |
| 公开(公告)号: | CN101110371A | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
| 发明(设计)人: | 周文得;孙渤 | 申请(专利权)人: | 台湾应解股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L21/56;H01L23/488;H01L23/31 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 田野 |
| 地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 封装 制造 方法 及其 结构 | ||
技术领域
本发明是有关一种芯片封装制作方法及其结构,特别是一种具薄型特性的芯片封装制造方法及其结构。
背景技术
半导体科技随着计算机与网络通讯等产品功能急速提升,必需具备多元化、可移植性与轻薄微小化的需求,使芯片封装业必须朝高功率、高密度、轻、薄与微小化等高精密度工艺发展,除此之外,电子封装(ElectronicsPackaging)仍需具备高可靠度、散热性佳等特性,以作为传递信号、电能,以及提供良好的散热途径及结构保护与支持等作用。
薄型化衬底不但在制作上困难度高,印刷电路板厂或导线架工厂若非增购或汰换设备,旧有设备制作不易改善变形的困扰,同样的问题也在封装过程中发生。成品厚度在0.1mm以下便不易突破。
发明内容
为了解决上述问题,本发明目的之一是提供一种芯片封装制作方法及其结构,其是利用衬底做为支撑组件,以将封装组件一一设置于其上,再于其后的步骤中将衬底移除,使得封装程序较稳固,且提高封装过程中的成品率与可靠度,更因具薄型的特性,而可运用于多元化、可移植性与轻薄微小化的电子组件。
本发明目的之一是提供一种芯片封装制造方法及其结构,其可不断依序向上堆栈而形成一堆栈结构,以制作成多层电路板,具有多用途,可适用于多种半导体封装。
本发明目的之一是提供一种降低芯片封装结构高度的衬底,其可提供一厚度薄至数微米的衬底,相对于目前衬底厚度为数百微米,可大幅降低整体封装厚度。
本发明目的之一是提供一种双面制造双面封装的衬底,其可提高产量、设备利用率进而降低生产成本。
为了达到上述目的,本发明一实施例的芯片封装结构制造方法,包括:提供一衬底;分别设置一第一屏蔽及一第二屏蔽于衬底的上表面及下表面,其中第一屏蔽为图案化屏蔽以暴露出部分衬底;形成至少一导电层于暴露出的衬底,且于导电层上可区分为多个芯片座及多个导电连接点;移除第一屏蔽及第二屏蔽;进行一芯片封装程序;以及移除衬底。
为了达到上述目的,本发明的一实施例的芯片封装结构,包括:一衬底;多个芯片座,设置于衬底的上表面;多个导电连接点,设置于每一芯片座的周缘,其中芯片座及导电连接点是由至少一导电层所形成;至少一芯片,设置于每一芯片座,并与导电连接点电性连接;以及一封装胶体,包覆芯片与导电连接点。
为了达到上述目的,本发明又一实施例的芯片封装结构制造方法,包括:提供一衬底;分别设置一第一屏蔽及一第二屏蔽于衬底的上表面及下表面,其中第一屏蔽及第二屏蔽为图案化屏蔽以暴露出部分衬底;形成至少一导电层于暴露出的衬底,且于导电层上可区分为多个芯片座及多个导电连接点;移除第一屏蔽及第二屏蔽;进行一芯片封装程序;以及移除衬底。
为了达到上述目的,本发明的又一实施例的芯片封装结构,包括:一衬底;多个芯片座,设置于衬底的上表面及下表面;多个导电连接点,设置于每一芯片座的周缘,其中芯片座及导电连接点是由至少一导电层所形成;至少一芯片,设置于每一芯片座,并与导电连接点电性连接;以及一封装胶体,包覆芯片与导电连接点。
附图说明
图1A~图1I为本发明的第一实施例的芯片封装工艺的各步骤的结构剖视图。
图2A~图2F为本发明的第二实施例的芯片封装工艺的各步骤的结构剖视图。
图3A~图3K为本发明的第三实施例的芯片封装工艺的各步骤的结构剖视图。
图4A~图4K为本发明的第四实施例的芯片封装工艺的各步骤的结构剖视图。
图5A~图5M为本发明的第五实施例的芯片封装工艺的各步骤的结构剖视图。
符号说明:
10,12衬底
13沟渠
20,22第一屏蔽
21,23第二屏蔽
24,26第三屏蔽
25,27第四屏蔽
30,32导电层
40,42黏着层
50,52芯片
60,62封装胶体
70,72引线
80,82凸块
90,92金属层
100,101,102,104,106芯片封装结构
具体实施方式
底下借由具体实施例配合所附的图式详加说明,当更容易了解本发明的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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