[发明专利]直拉法单晶硅生长过程中的熔体液面位置检测方法有效
| 申请号： | 200610105332.1 | 申请日： | 2006-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101008104A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 刘丁;任海鹏;赵跃;李琦 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直拉法 单晶硅 生长 过程 中的 体液 位置 检测 方法 | ||
【说明书】：
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