[发明专利]基于自支撑SiC的GaN器件及制作方法有效
| 申请号： | 200610105132.6 | 申请日： | 2006-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN1971943A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 郝跃;张进程;陈军峰 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/737;H01L33/00;H01L21/335;H01L21/331;H01L21/20 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 | 代理人： | 王品华;黎汉华 |
| 地址： | 71007*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 支撑 sic gan 器件 制作方法 | ||
【权利要求书】：
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