[发明专利]一种刀具的表面硬化方法有效
| 申请号： | 200610103487.1 | 申请日： | 2006-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN101113515A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 李协裕 | 申请（专利权）人： | 震虎精密科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54;C23C14/14 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 何为 |
| 地址： | 台湾省台中市南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 刀具 表面 硬化 方法 | ||
1.一种刀具的表面硬化方法，主要利用真空溅镀方法于该刀具表面被覆一层硬质薄膜，其特征在于：所述真空溅镀的步骤包括：
(a)将真空溅镀的温度设定为350℃，真空溅镀的压力设定为1.5×10-2mbar，并充入氮气作为镀膜介质，然后以渐进层方式于刀具表面形成该硬质薄膜；
(b)使用一钛靶材于刀具表面溅镀约30分钟形成第一层；
(c)使用含钛85％～90％、硅15％～10％的靶材，于该第一层外溅镀约60分钟形成第二层。
2.根据权利要求1所述的一种刀具的表面硬化方法，其特征在于：所述c步骤中钛、硅的比例为：钛87％，硅13％。
3.一种刀具的表面硬化方法，主要利用真空溅镀方法于该刀具表面被覆一层硬质薄膜，其特征在于：所述真空溅镀的步骤包括：
(a)将真空溅镀的温度设定为350℃，真空溅镀的压力设定为1.5×10-2mbar，并充入氮气作为镀膜介质，然后以渐进层方式于刀具表面形成该硬质薄膜；
(b)使用一钛靶材于刀具表面溅镀约30分钟形成第一层；
(c)使用含钛85％～90％、硅15％～10％的靶材，于该第一层外溅镀约60分钟形成第二层；
(d)使用含钛77％～82％，硅23％～18％的靶材，于该第二层外溅镀约120分钟形成第三层。
4.根据权利要求3所述的一种刀具的表面硬化方法，其特征在于：依照上述a、b、c、d步骤渐进施行时，其表面硬度变化为：a：1800微克式硬度、b：2400微克式硬度、c：3000微克式硬度、d：3600微克式硬度。
5.根据权利要求3所述的一种刀具的表面硬化方法，其特征在于：所述c步骤中钛、硅的比例为：钛87％，硅13％。
6.根据权利要求3所述的一种刀具的表面硬化方法，其特征在于：所述d步骤中钛、硅的比例为：钛80％，硅20％。
7.根据权利要求3所述的一种刀具的表面硬化方法，其特征在于：所述硬质薄膜的厚度为3μm。
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