[发明专利]减少微粒产生的制程套件设计有效
| 申请号： | 200610099791.3 | 申请日： | 2006-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1891861A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | H·－M·H·列;稻川诚 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/00;C23C16/00;C23F4/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减少 微粒 产生 套件 设计 | ||
【权利要求书】：
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