[发明专利]计量工具的误差记录分析方法和系统有效
申请号: | 200610094605.7 | 申请日: | 2006-06-21 |
公开(公告)号: | CN1885049A | 公开(公告)日: | 2006-12-27 |
发明(设计)人: | 埃里克·P·索莱基;周麟;萨拉赫·凯伊 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01B11/00;H01L21/00;H01L21/66;G06F17/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 张浩 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 计量 工具 误差 记录 分析 方法 系统 | ||
【说明书】:
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