[发明专利]用原子力显微镜确定样品的材料界面和计量信息的方法无效
| 申请号： | 200610094518.1 | 申请日： | 2006-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1877246A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 胡家祯 | 申请（专利权）人： | 日立环球储存科技荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G01B11/00;G01N13/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邸万奎;黄小临 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 确定 样品 材料 界面 计量 信息 方法 | ||
【权利要求书】：
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