[发明专利]形成电荷图案及沉积粒子的方法及其利用于电荷储存装置

权利要求书

1、一种具有电荷图案的电荷储存装置，其特征是，至少包含：

一导电基板；

一电荷储存层，形成于该导电基板之上；

其中，该电荷储存层中储存有一电荷图案。

2、根据权利要求1所述的具有电荷图案的电荷储存装置，其特征是，该导电基板为一硅基板。

3、根据权利要求1所述的具有电荷图案的电荷储存装置，其特征是，该导电基板为一表面具有导电层的基板。

4、根据权利要求1所述的具有电荷图案的电荷储存装置，其特征是，该导电基板为一表面具有导电电极的基板。

5、根据权利要求1所述的具有电荷图案的电荷储存装置，其特征是，该电荷储存层是由一硅氧化物经氮化过程所形成的氮氧硅复合层。

6、根据权利要求1所述的具有电荷图案的电荷储存装置，其特征是，该电荷储存层为一多层膜，由一硅氧化物形成于该导电基板之上，一硅氮化物形成于该硅氧化物之上，所形成的氮氧硅复合层。

7、根据权利要求1所述的具有电荷图案的电荷储存装置，其特征是，该电荷图案为电子或电洞或两者共同组成。

8、一种电荷图案的形成方法，其特征是，至少包含：

提供一电荷储存装置，其具有一导电基板；

将该电荷储存装置置于一真空或无水环境中；

利用一电极是通以一第一电压与该导电基板通以一第二电压，形成一电场；

藉该电场使电荷储存于该电荷储存装置中，且形成一电荷图案；

其中，因该电荷储存装置处于该真空或无水环境中，而防止该电场产生氧化作用。

9、根据权利要求8所述的电荷图案的形成方法，其特征是，更包含提供一探针作为该电极。

10、根据权利要求8所述的电荷图案的形成方法，其特征是，更包含提供一具图案的图章作为该电极。

11、根据权利要求8所述的电荷图案的形成方法，其特征是，更包含重复抹写电荷以形成该电荷图案。

12、一种沉积粒子的方法，其特征是，至少包含：提供一具有电荷图案的电荷储存装置；

将该电荷储存装置浸入具有复数个胶体悬浮粒子的溶液中；

利用库伦作用力或电泳现象使该些胶体悬浮粒子沉积于该电荷图案上；

经由一溶液的冲洗，使该电荷图案上剩余单层该些胶体悬浮粒子。

13、根据权利要求12所述的沉积粒子的方法，其特征是，更包含提供一经化学修饰的粒子作为该胶体悬浮粒子。

14、根据权利要求12所述的沉积粒子的方法，其特征是，更包含提供金属、半导体、绝缘材料、有机分子、化学粒子、细菌、病毒、细胞、蛋白质分子、药物分子、DNA分子或RNA分子作为该胶体悬浮粒子。

15、根据权利要求12所述的沉积粒子的方法，其特征是，更包含重复该沉积粒子的方法，写入不同电荷图案并重复沉积该些胶体悬浮粒子以形成多重粒子结构。