[发明专利]空气干燥机的空气干燥装置

权利要求书

1.一种空气干燥机的空气干燥装置，空气干燥机具有一过滤器、进气开关，与过滤器连接设排水管，空气干燥机设有流量表与压力计，于空气干燥机所设的仪表板上可显示相关的读数，干燥空气可再经一过滤器再输入于放置晶圆的密闭柜；其特征在于：

加压/泄压循环装置，其中具有一组并列的第一、第二管体，第一、第二管体内部的下、上侧分别设有过滤件，位于一组相对的过滤件间设有多数的干燥剂；

三通阀，设置于第一、第二管体下侧，三通阀设有一进气管与三通阀内部相通，三通阀内设信道分别可与第一、第二管体相通；

相对于进气管的信道附近设置一钢珠，信道两侧并位于钢珠侧边设有密封圈与内部具孔的螺丝；

阀座，设于第一、第二管体上侧，其内部具有与第一、第二管体相通的信道，并设有一输气管；

分别有一中空的单向阀，其上侧与阀座固设，单向阀下侧设置过滤件，于单向阀侧边设置旁通路。

2.如权利要求第1项所述的空气干燥机的空气干燥装置，其特征在于，其中的过滤件呈半球形，一组相对的过滤件互为反向设置。

3.如权利要求第1或2项所述的空气干燥机的空气干燥装置，其特征在于，进一步包括第一阀、第二阀分别设于三通阀下侧，其分别与三通阀下侧相通，第一阀、第二阀下侧设有相通的排水管路。

4.如权利要求第3项所述的空气干燥机的空气干燥装置，其特征在于，其中于单向阀内部由上至下依序设弹簧与珠体及密封圈。