[发明专利]分解硫氟化合物的装置及其方法

权利要求书

1.一种分解硫氟化合物的方法，包括下列步骤：

提供硫氟化合物与第一催化剂接触，以分解该硫氟化合物形成第一分解物；以及

提供第二催化剂与该第一分解物接触，以分解该第一分解物形成第二分解物，其中该第二分解物可溶于水；

其中该第二催化剂由下列步骤制备，所述步骤包括：

将第二载体浸于第二金属盐类水溶液中；

进行干燥步骤，以去除水份；

进行锻烧步骤，以形成该第二催化剂；

其中该第二载体包含氧化铝，该第二金属盐类水溶液为硝酸铜及硝酸铈水溶液。

2.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中所述硫氟化合物包括：SF₆、SO₂F₂或SOF₂。

3.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中在该硫氟化合物与该第一催化剂接触的步骤之前，还包括进行加湿步骤。

4.如权利要求3所述的分解硫氟化合物的方法，其中该加湿步骤包括以注射方式导入水溶液，汽化该水溶液后，再以水蒸汽状态混于该硫氟化合物。

5.如权利要求4所述的分解硫氟化合物的方法，其中水蒸汽气体与该硫氟化合物的体积比例为30～120。

6.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中该第一催化剂由下列步骤制备，所述步骤包括：

将第一载体浸于第一金属盐类水溶液中；

进行干燥步骤，以去除水份；

进行锻烧步骤，以形成该第一催化剂。

7.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中该第一载体包含氧化铝。

8.如权利要求6所述的分解硫氟化合物的方法，其中该第一金属盐类水溶液的金属包含钨、镍、锌或铈。

9.如权利要求6所述的分解硫氟化合物的方法，其中该第一金属盐类水溶液为硝酸锌水溶液。

10.如权利要求8或9所述的分解硫氟化合物的方法，其中该第一金属盐类水溶液中，锌离子占整个溶液比例范围是5～20mol％。

11.如权利要求6所述的分解硫氟化合物的方法，其中在制备第一催化剂的步骤中，该第一载体浸于该第一金属盐类水溶液的时间范围为3～12小时，该第一载体浸于该第一金属盐类水溶液的步骤的压力低于一大气压，该干燥步骤温度范围在100～150℃之间，该干燥步骤时间范围在8-12小时之间。

12.如权利要求6所述的分解硫氟化合物的方法，其中，在制备第一催化剂的步骤中，锻烧步骤温度范围在650～800℃之间，锻烧步骤时间范围在4.5～5.5小时之间。

13.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中该第一分解物包含SO₂F₂、HF及SO₃。

14.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中该第二金属盐类水溶液中，铜离子及铈离子占整个溶液的比例范围为3-20mol％。

15.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中，在制备第二催化剂的步骤中该第二载体浸于该第二金属盐类水溶液的时间范围为3～12小时，其中该第二载体浸于该第二金属盐类水溶液的步骤低于一大气压。

16.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中，在制备第二催化剂的步骤中，该干燥步骤温度范围在100～150℃之间，该干燥步骤时间范围在8-12小时之间，该锻烧步骤温度范围在650～800℃之间，该锻烧步骤时间范围在4.5～5.5小时之间。

17.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中该第二分解物包含SO₃及HF。

18.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中分解该硫氟化合物的温度范围为500～800℃。

19.如权利要求1所述的分解硫氟化合物的方法，其中该硫氟化合物流量与该第一催化剂体积比介于100～2200之间，该硫氟化合物流量与该第二催化剂体积比介于100～2200之间。