[发明专利]散热件及其制法

说明书

技术领域

本发明是关于散热件的制法，特别是关于一种具有支撑柱的散热件的制法。

背景技术

随着集成电路设计与制造技术的不断进步，集成电路的集成度也随之不断提升。以中央处理单元为例，由于集成度的提升，运行时产生的高温如何散逸遂成为亟待解决的问题。一般而言，为达到散热目的维持集成电路的正常运行，会将散热件安装在集成电路上，通过散热件将热量散逸。

传统的散热件是利用散热件本体材质具有快速吸热与散热的特性，然而仅利用材质的散热特性无法进一步提升散热效果，为进一步提升散热件的散热效果，提出搭配散热鳍片、风扇或水冷散热结构的散热件。上述各种散热件结构中，以水冷散热件的散热效果最佳。

请参阅图3A，它是现有水冷式散热件的结构分解图，如图所示，该散热件2包括下基板21以及相对该下基板21的上基板22，该下基板21具有凹部211，且该凹部211上还具有多个用以支撑该上基板22的支撑柱23，该上基板22的一角则具有贯孔221。请参阅图3B，在该下基板21与上基板22通过固定件(未标出)或焊接等方式密闭接合时，这些支撑柱23可有效支撑该上基板22，在冷却液体25通过该贯孔221注入该空间24并密封该贯孔221后，可令该冷却液体25在该空间24中依据不同的工作温度进行液态与气态变化，增加该散热件2的散热效率。

上述现有散热件结构的支撑柱23的形成方式如图4所示，将骨料洒在该凹部211预设形成支撑柱23的位置上，并使该支撑柱23达到预定的高度后停止洒料，该支撑柱23形成圆锥状的结构。这种制程的缺点在于该支撑柱形成过程中，其毛细结构的密度不易控制且容易破碎，此外，由于毛细结构的密度较小，故在注入冷却液体25后，会降低该支撑柱23吸附冷却液体25的毛细力，影响该空间24中冷却液体25的循环流动效率也就是热循环效率。

此外，如图3A与3B所示，由于该表面222仅与这些支撑柱23的顶点231接触，导致该表面222与这些支撑柱23间的结构强度降低以及毛细结构连续性不佳。

综上所述，如何能够提供一种能控制并提升散热件支撑柱的密度与毛细结构，增加散热件散热效率的散热件的制法，成为目前亟待解决的课题。

发明内容

为克服上述现有技术的缺点，本发明的主要目的在于提供一种能控制散热件支撑柱的密度与毛细结构的散热件的制法。

本发明的另一目的在于提供一种能增加散热件的基板与支撑柱间结构强度以及毛细结构连续性的散热件的制法。

为达上述目的，本发明的散热件包括：下基板，具有凹部；至少一支撑柱，形成在该下基板的凹部上；以及上基板，相对于该下基板，并与该下基板密封固接形成冷却液体容置空间，其中该上基板相对于该支撑柱的表面具有嵌合该支撑柱的凹部。

本发明的散热件的制法包括：制备具有凹部的下基板；在该下基板的凹部上制备具有至少一贯孔的注料板，该贯孔对应到该下基板预设形成支撑柱的位置；灌注骨料到该贯孔中；将该下基板、注料板与骨料置入高温环境中烧结；在该骨料定型后将该注料板移除，在该基板的凹部上形成支撑柱；以及制备上基板，并将该下基板与上基板密封固接，形成冷却液体容置空间，其中该上基板相对于该支撑柱的表面具有嵌合该支撑柱的凹槽。

与现有技术相比，本发明的散热件的制法，能控制并提升散热件支撑柱的密度与毛细结构，还能增加散热件的基板与支撑柱间的结构强度以及毛细结构连续性，增加散热件的散热效率。

附图说明

图1是本发明散热件的结构剖面图；

图2A至2F是本发明散热件的制法的步骤示意图；

图3A是现有水冷式散热件的结构分解图；

图3B是现有水冷式散热件完成组合的状态；以及

图4是现有水冷式散热件支撑柱的制程示意图。

具体实施方式

实施例

请参阅图1，它是本发明散热件的结构剖面图。如图所示，本发明的散热件1包括：下基板11，该下基板11具有凹部111；至少一形成在该下基板11的凹部111上的支撑柱131；以及相对于该下基板11的上基板14，并与该下基板11密封固接形成冷却液体容置空间15，其中该上基板14相对于该支撑柱131的表面141具有嵌合该支撑柱131的凹槽142。

在本实施例中，该上基板14的一角还具有灌注孔143，用以在该上基板14与该下基板11密封固接后，将冷却液体灌注到该冷却液体容置空间15中，增加该散热件1的冷却效率。

图2A至2E依序是本发明的散热件的制法。