[发明专利]光学空间频率反应量测方法无效
| 申请号: | 200610078171.1 | 申请日: | 2006-04-28 |
| 公开(公告)号: | CN101063639A | 公开(公告)日: | 2007-10-31 |
| 发明(设计)人: | 刘连福 | 申请(专利权)人: | 九骅科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01M11/00 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 任默闻 |
| 地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光学 空间 频率 反应 方法 | ||
1.一种光学空间频率反应量测方法,其用来量测一待测影像模块上一特定区域的光学分辨率,其特征在于,该光学空间频率反应量测方法包含有:
利用待测影像模块获取一测试图样的一影像,其中该测试图样包含有多个测试区域,每一个测试区域包含有多个区域图样,每一区域图样皆具有一倾斜的黑白边缘,而特定区域是对应于测试图样的至少一测试区域;
对影像进行分析,以找出该影像中对应于特定区域的测试区域的每个区域图样的不同边缘的强度分布;
分别将特定区域中每个区域图样的不同边缘的强度分布进行偏微分,以将其转换为多个线分布函数;
分别对每个区域图样的线分布函数进行傅利叶转换,以产生所对应的区域图样的光学空间频率反应;以及
将每个测试区域的每个区域图样的光学空间频率反应加以平均,以得出一平均光学空间频率反应,以作为该测试区域的光学解析调变转换函数分布。
2.如权利要求1所述的光学空间频率反应量测方法,其特征在于,于每一个测试区域中,所述的多个区域图样皆相同。
3.如权利要求1所述的光学空间频率反应量测方法,其特征在于,于每一个测试区域中,所述的多个区域图样中相邻两区域图样互为对称图形。
4.如权利要求1所述的光学空间频率反应量测方法,其特征在于,于每一个测试区域中,所述的多个区域图样是以一维的方式排列而成。
5.如权利要求1所述的光学空间频率反应量测方法,其特征在于,于每一个测试区域中,所述的多个区域图样是以二维的方式排列而成。
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