[发明专利]增强溅射靶的制造方法无效
| 申请号： | 200610075466.3 | 申请日： | 2006-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1900352A | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | 阿卜杜勒瓦哈卜·齐亚尼;贝恩德·孔克尔 | 申请（专利权）人： | 黑罗伊斯公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C30/00;C22C1/03 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林潮;樊卫民 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 增强 溅射 制造 方法 | ||
【说明书】：
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