[发明专利]负型光敏性组合物及其平板印刷方法有效

专利信息
申请号: 200610075439.6 申请日: 2006-04-14
公开(公告)号: CN101055420A 公开(公告)日: 2007-10-17
发明(设计)人: 蔡政禹;郑志龙;金进兴 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: G03F7/038 分类号: G03F7/038;G03F7/16;G03F7/20
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 封新琴;巫肖南
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 光敏 组合 及其 平板 印刷 方法
【权利要求书】:

1.一种负型光敏性组合物,包括:

(a)已酰亚胺化的聚酰亚胺,其主链末端基部份至少含酚羟基或羧基,

其中所述聚酰亚胺结构为下列式1或式2的重复单元所构成的聚合物 或共聚物,

式1

式2

其中,

n为10至600,Ar1为四价有机基团或脂肪环基团,Ar2为二至四价有 机基团,Ar3为二价有机基团,R1为酚羟基或羧基,且R1含量为所述聚酰 亚胺摩尔数的10~30%;

(b)交联剂,其结构中含有酚羟基,或该交联剂为烷氧甲基化氨基树脂; 以及

(c)光酸产生剂,包括:2-(2-(3-氯-4-甲氧基苯基)乙烯基)-4和6-螺 (TORIKUROR甲基)-s-三嗪、2-(4-(2-羟基乙氧基)苯乙基)-4和6-螺 (TORIKURORO甲基)-s-三嗪、三芳基锍六氟锑酸盐、二苯基碘-9,10-二甲 氧基蒽-2-硫酸盐(DIAS)、(5-丙基磺酰基氧亚氨基-5H-噻吩-2-基茚)-(2-甲基 苯基)乙腈(PTMA)。

2.如权利要求1所述的负型光敏性组合物,其中Ar1选自下列官能团或 其组合:

R2-CH2CH2-

3.如权利要求1所述的负型光敏性组合物,其中Ar2选自下列官能团或 其组合:

其中X1选自下列官能团:

-O-,-S-,-C(CF3)2-

其中Z为氢(H)或烷基,q=1~20。

4.如权利要求1所述的负型光敏性组合物,其中Ar3选自下列官能团:

5.如权利要求1所述的负型光敏性组合物,其中所述交联剂包括下列化 合物:

6.如权利要求1所述的负型光敏性组合物,其中所述交联剂添加量为所 述聚酰亚胺固体重量的10~30%。

7.如权利要求1所述的负型光敏性组合物,其中所述光酸产生剂添加量 为所述聚酰亚胺固体重量的1~20%。

8.如权利要求1所述的负型光敏性组合物,其中所述光酸产生剂的紫外 光及可见光吸收波长为300~450nm。

9.一种负型光敏性组合物的平板印刷方法,包括以下步骤:

在基材上涂布如权利要求1所述的负型光敏性组合物;

预烤该负型光敏性组合物形成光刻胶膜;

将该光刻胶膜曝光;

曝后烤该曝光后的光刻胶膜;

将经过曝后烤的光刻胶膜显影,在基材上形成光刻胶图案;以及

固化所述的在其上形成有光刻胶图案的基材。

10.如权利要求9所述的负型光敏性组合物的平板印刷方法,其中所述 基材为硅基材或显示器基底。

11.如权利要求10所述的负型光敏性组合物的平板印刷方法,其中所述 显示器基底为有机发光二极管显示器(OLED)基底,且所述光刻胶图案为平 行排列的分隔条,用来分隔单元显示区。

12.如权利要求9所述的负型光敏性组合物的平板印刷方法,其中所述 预烤的温度为70~120℃。

13.如权利要求9所述的负型光敏性组合物的平板印刷方法,其中所述 曝后烤的温度为100~130℃。

14.如权利要求9所述的负型光敏性组合物的平板印刷方法,其中所述 固化的温度为180~300℃。

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