[发明专利]过程气体泄漏源检测系统与方法

权利要求书

1.一种过程气体泄漏源检测系统，其适用于一制造厂的过程控制，包括：

一数据服务器；

一开放路径式傅立叶转换红外光谱仪检测系统，其设置于所述制造厂的回风处，用以检测泄漏气体，并且通过一通信网络将检测所得的气体成份信息传送至所述数据服务器；

一多采样孔与抽气式傅立叶转换红外光谱仪检测系统，其设置于所述制造厂内，用以利用设置于所述制造厂内的不同区域的管线收集并检测泄漏气体，并且通过所述通信网络将检测所得的气体成份信息传送至所述数据服务器；

一红外光谱仪监测系统，用以通过所述通信网络自所述数据服务器取得所述气体成份信息；以及

一过程尾气管理系统，用以通过所述通信网络自所述红外光谱仪监测系统取得所述气体成份信息以进行泄漏来源的分析处理与判断。

2.如权利要求1所述的过程气体泄漏源检测系统，其还包括一数据库管理与气体浓度查询系统，用以查询所述数据服务器中的所述气体成份信息。

3.如权利要求1所述的过程气体泄漏源检测系统，其中，当所述红外光谱仪监测系统检测到气体浓度超过一阈值时即发出警报，并且自动启动所述过程尾气管理系统。

4.如权利要求1所述的过程气体泄漏源检测系统，其中，每当所述数据服务器取得检测所得的气体成份信息时，所述红外光谱仪监测系统即进行实时更新。

5.如权利要求1所述的过程气体泄漏源检测系统，其中，所述多采样孔与抽气式傅立叶转换红外光谱仪检测系统经由其中一管线取得所述管线所在区域的气体成份信息并进行分析处理。

6.一种过程气体泄漏源检测方法，其适用于一制造厂的过程控制，包括下列步骤：

提供一开放路径式傅立叶转换红外光谱仪检测系统、一多采样孔与抽气式傅立叶转换红外光谱仪检测系统、一红外光谱仪监测系统、一过程尾气管理系统、一数据库管理与气体浓度查询系统以及一数据服务器，其中所述开放路径式傅立叶转换红外光谱仪检测系统设置于所述制造厂的回风处；

利用所述开放路径式傅立叶转换红外光谱仪检测系统并通过一通信网络，将检测所得的气体成份信息传送至所述数据服务器；

利用所述多采样孔与抽气式傅立叶转换红外光谱仪检测系统并通过所述通信网络，将利用设置于所述制造厂内的不同区域的管线检测所得的气体成份信息传送至所述数据服务器；

利用所述红外光谱仪监测系统并通过所述通信网络自所述数据服务器取得所述气体成份信息；以及

利用所述过程尾气管理系统并通过所述通信网络自所述红外光谱仪监测系统取得所述气体成份信息以进行泄漏来源的分析处理与判断。

7.如权利要求6所述的过程气体泄漏源检测方法，其还包括利用一数据库管理与气体浓度查询系统并通过所述通信网络，查询所述数据服务器中的所述气体成份信息。

8.如权利要求6所述的过程气体泄漏源检测方法，其还包括当所述红外光谱仪监测系统检测到气体浓度超过一阈值时即发出警报，并且自动启动所述过程尾气管理系统。

9.如权利要求6所述的过程气体泄漏源检测方法，其还包括每当所述数据服务器取得检测所得的气体成份信息时，所述红外光谱仪监测系统即进行实时更新。

10.如权利要求6所述的过程气体泄漏源检测方法，其还包括利用所述多采样孔与抽气式傅立叶转换红外光谱仪检测系统，并经由其中一管线取得所述管线所在区域的气体成份信息并进行分析处理。