[发明专利]增强的含氧化物溅射靶合金组合物无效
| 申请号： | 200610067822.7 | 申请日： | 2006-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN1880501A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·吉恩·拉辛;阿尼班·达斯;史蒂文·罗杰·肯尼迪;郑京 | 申请（专利权）人： | 黑罗伊斯公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;G11B5/62;G11B5/84 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林潮;樊卫民 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 增强 氧化物 溅射 合金 组合 | ||
【权利要求书】：
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