[发明专利]掩模支撑座和蒸镀系统有效
| 申请号： | 200610065463.1 | 申请日： | 2006-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN101041890A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 黄壬昶;曾文绶 | 申请（专利权）人： | 统宝光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 台湾省新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 搜索关键词： | 支撑 系统 | ||
【权利要求书】：
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