[发明专利]光学计量系统和计量标记表征装置有效
| 申请号： | 200610063645.5 | 申请日： | 2006-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1991586A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | N·P·范德阿;A·J·邓博夫;R·M·M·马蒂杰;H·G·特尔莫舍 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;梁永 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 计量 系统 标记 表征 装置 | ||
【说明书】：
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