[发明专利]平面调节装置无效
| 申请号: | 200610062620.3 | 申请日: | 2006-09-15 |
| 公开(公告)号: | CN101144867A | 公开(公告)日: | 2008-03-19 |
| 发明(设计)人: | 萧志斌;郑振兴;胡兴亿;何仁钦;黄俊凯;傅承祖 | 申请(专利权)人: | 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司;虹创科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G02B5/23 | 分类号: | G02B5/23 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 201600上海市松江区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 平面 调节 装置 | ||
1.一种平面调节装置,其包括载板及调整板,其特征在于,该平面调节装置还包括:
调整件,其包括螺纹件及弹性件,所述螺纹件贯穿载板并与调整板螺纹耦合连接,所述弹性件位于载板与调整板之间且弹性套设在螺纹件上;
球面轴承,其收容在所述调整板及载板中的任意一者内;及轴心,其穿设在球面轴承内并与所述调整板与载板中的另一者相连,以使载板与调整板定位连接。
2.如权利要求1所述的平面调节装置,其特征在于,所述螺纹件选自螺钉及螺栓。
3.如权利要求1所述的平面调节装置,其特征在于,所述弹性件选自压缩弹簧及弹片。
4.如权利要求3所述的平面调节装置,其特征在于,所述压缩弹簧选自圆柱螺旋压缩弹簧,圆锥螺旋压缩弹簧,环形弹簧及蝶形弹簧。
5.如权利要求1所述的平面调节装置,其特征在于,所述球面轴承收容在调整板内,所述球面轴承设有通孔,所述轴心包括卡持部及从卡持部延伸出来的螺纹部,该轴心穿设在所述球面轴承的通孔内,且其卡持部卡持在通孔的远离载板的一端,其螺纹部通过螺纹耦合连接在载板内。
6.如权利要求1所述的平面调节装置,其特征在于,所述球面轴承收容在载板内,所述球面轴承设有通孔,所述轴心包括卡持部及从卡持部延伸出来的螺纹部,该轴心穿设在所述球面轴承的通孔内,且其卡持部卡持在通孔之远离调整板的一端,其螺纹部通过螺纹耦合连接在调整板内。
7.如权利要求5或6所述的平面调节装置,其特征在于,所述球面轴承包括轴承座及收容在轴承座内的滚珠,所述通孔设置在滚珠上。
8.如权利要求1所述的平面调节装置,其特征在于,该平面调节装置还包括顶紧螺丝,该顶紧螺丝包括螺纹部及从螺纹部延伸出来的抵持部,所述螺纹部与载板螺纹耦合,所述抵持部位于载板的邻近调整板一侧。
9.如权利要求8所述的平面调节装置,其特征在于,所述顶紧螺丝的抵持部的材质为不同于螺纹部材质的软质材料。
10.如权利要求9所述的平面调节装置,其特征在于,所述顶紧螺丝的螺纹部材质为金属,抵持部材质为塑料。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司;虹创科技股份有限公司,未经富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司;虹创科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
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