[发明专利]平面调节装置无效

专利信息
申请号: 200610062620.3 申请日: 2006-09-15
公开(公告)号: CN101144867A 公开(公告)日: 2008-03-19
发明(设计)人: 萧志斌;郑振兴;胡兴亿;何仁钦;黄俊凯;傅承祖 申请(专利权)人: 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司;虹创科技股份有限公司
主分类号: G02B5/23 分类号: G02B5/23
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201600上海市松江区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 平面 调节 装置
【权利要求书】:

1.一种平面调节装置,其包括载板及调整板,其特征在于,该平面调节装置还包括:

调整件,其包括螺纹件及弹性件,所述螺纹件贯穿载板并与调整板螺纹耦合连接,所述弹性件位于载板与调整板之间且弹性套设在螺纹件上;

球面轴承,其收容在所述调整板及载板中的任意一者内;及轴心,其穿设在球面轴承内并与所述调整板与载板中的另一者相连,以使载板与调整板定位连接。

2.如权利要求1所述的平面调节装置,其特征在于,所述螺纹件选自螺钉及螺栓。

3.如权利要求1所述的平面调节装置,其特征在于,所述弹性件选自压缩弹簧及弹片。

4.如权利要求3所述的平面调节装置,其特征在于,所述压缩弹簧选自圆柱螺旋压缩弹簧,圆锥螺旋压缩弹簧,环形弹簧及蝶形弹簧。

5.如权利要求1所述的平面调节装置,其特征在于,所述球面轴承收容在调整板内,所述球面轴承设有通孔,所述轴心包括卡持部及从卡持部延伸出来的螺纹部,该轴心穿设在所述球面轴承的通孔内,且其卡持部卡持在通孔的远离载板的一端,其螺纹部通过螺纹耦合连接在载板内。

6.如权利要求1所述的平面调节装置,其特征在于,所述球面轴承收容在载板内,所述球面轴承设有通孔,所述轴心包括卡持部及从卡持部延伸出来的螺纹部,该轴心穿设在所述球面轴承的通孔内,且其卡持部卡持在通孔之远离调整板的一端,其螺纹部通过螺纹耦合连接在调整板内。

7.如权利要求5或6所述的平面调节装置,其特征在于,所述球面轴承包括轴承座及收容在轴承座内的滚珠,所述通孔设置在滚珠上。

8.如权利要求1所述的平面调节装置,其特征在于,该平面调节装置还包括顶紧螺丝,该顶紧螺丝包括螺纹部及从螺纹部延伸出来的抵持部,所述螺纹部与载板螺纹耦合,所述抵持部位于载板的邻近调整板一侧。

9.如权利要求8所述的平面调节装置,其特征在于,所述顶紧螺丝的抵持部的材质为不同于螺纹部材质的软质材料。

10.如权利要求9所述的平面调节装置,其特征在于,所述顶紧螺丝的螺纹部材质为金属,抵持部材质为塑料。

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