[发明专利]柱状磁控溅射器

权利要求书

1.一种柱状磁控溅射器，包括靶筒、弧形屏蔽罩和磁极装置，弧形屏蔽罩位于靶筒的侧面，其特征在于：所述磁极装置包括板状磁轭、在板状磁轭上同平面平行排列固定的一对侧面磁钢和中间磁钢、位于侧面磁钢与中间磁钢之间的中间间隔条，所述板状磁轭平行排列固定在与弧形屏蔽罩相对的靶筒的另一侧面。

2.根据权利要求1所述柱状磁控溅射器，其特征在于：在所述侧面磁钢和中间磁钢的表面分别固定有带切角的极靴。

3.根据权利要求1或2所述柱状磁控溅射器，其特征在于：在所述中间磁钢的上下端部增设有增强磁钢，增强磁钢的靠近端面的高度低于增强磁钢的靠近中间磁钢端面的高度。

4.根据权利要求3所述柱状磁控溅射器，其特征在于：所述增强磁钢包括第一增强磁钢和第二增强磁钢，外端的第一增强磁钢的上表面比位于第一增强磁钢与中间磁钢之间的第二增强磁钢的上表面低，第二增强磁钢，是封闭磁钢，用于封闭磁场。

5.根据权利要求1所述柱状磁控溅射器，其特征在于：包括溅射器基座和溅射器安装座，所述靶筒、弧形屏蔽罩和磁极装置安装在溅射器基座内，所述溅射器基座与溅射器安装座密封连接固定，所溅射器安装座14用于连接镀膜箱体。

6.根据权利要求5所述柱状磁控溅射器，其特征在于：所述溅射器基座上设置有后密封板，后密封板上设置有布气管引入法兰，布气管连接到屏蔽罩，屏蔽罩上设置有出气口。

7.根据权利要求1、2或5任意一项所述柱状磁控溅射器，其特征在于：成对设置有靶筒、弧形屏蔽罩和磁极装置。

8.根据权利要求4所述柱状磁控溅射器，其特征在于：成对设置有靶筒、弧形屏蔽罩和磁极装置。