[发明专利]抗蚀剂组合物和在基材上形成图案的方法有效
| 申请号： | 200610054997.4 | 申请日： | 2006-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN1828412A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | R·索里亚库马兰;H·D·特容 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 基材 形成 图案 方法 | ||
【说明书】：
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