[发明专利]匀胶显影设备用胶泵无效
| 申请号： | 200610046529.2 | 申请日： | 2006-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101071270A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 程金胜;于海川;张军 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源先进半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影 备用 | ||
【权利要求书】：
1、一种匀胶显影设备用胶泵，其特征在于：包括在管路上依次设置的隔膜泵(5)、通断阀(6)、回吸阀(7)，隔膜泵(5)与胶瓶(4)连通，回吸阀(7)与出胶口连通。
2、按照权利要求1所述的匀胶显影设备用胶泵，其特征在于：气源分三路分别与隔膜泵(5)、通断阀(6)、回吸阀(7)连通。
3、按照权利要求2所述的匀胶显影设备用胶泵，其特征在于：气源与隔膜泵(5)、通断阀(6)、回吸阀(7)连通的管路上设有气压调节阀。
4、按照权利要求2所述的匀胶显影设备用胶泵，其特征在于：气源与隔膜泵(5)、通断阀(6)、回吸阀(7)连通的管路上设有三通电磁阀。
5、按照权利要求4所述的匀胶显影设备用胶泵，其特征在于：三通电磁阀与单片机控制电路相连，单片机的控制信号输出，控制三通电磁阀启闭。
6、按照权利要求5所述的匀胶显影设备用胶泵，其特征在于：单片机与人机交互界面相连。
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