[发明专利]薄顶盖射频微电子机械系统开关封装结构及其制造方法无效
| 申请号： | 200610040165.7 | 申请日： | 2006-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN1872658A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;吴含琴 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 顶盖 射频 微电子 机械 系统 开关 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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