[发明专利]具有低深宽比通孔的圆片级气密性封装工艺有效
申请号: | 200610039668.2 | 申请日: | 2006-04-07 |
公开(公告)号: | CN1834000A | 公开(公告)日: | 2006-09-20 |
发明(设计)人: | 华亚平;李宗亚;阮学华 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | B81C3/00 | 分类号: | B81C3/00 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214028*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 低深宽 圆片级 气密性 封装 工艺 | ||
【说明书】:
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