[发明专利]发光器件制造方法无效
| 申请号: | 200610039465.3 | 申请日: | 2006-04-12 |
| 公开(公告)号: | CN101055905A | 公开(公告)日: | 2007-10-17 |
| 发明(设计)人: | 李贤宰 | 申请(专利权)人: | 南京LG同创彩色显示系统有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄威;张金海 |
| 地址: | 201206江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 发光 器件 制造 方法 | ||
1、一种发光器件制造方法,其特征在于,包括如下几个阶段:
第一阶段:蓝宝石基板上形成氮化物半导体层;
第二阶段:氮化物半导体层上部形成发光器件;
第三阶段:所述发光器件的最上层形成UBM层;
第四阶段:焊接用基板上部形成有UBM层,在焊接用基板的UBM层上部,形成有在InSn,InZn,InAg和InBi中选择一个构成的焊接物质膜;
第五阶段:将所述的焊接用基板的焊接物质膜与发光器件的UBM层相接触,进行加热和压着、焊接;
第六阶段:蓝宝石基板上照射激光,将蓝宝石基板从发光器件中摘除。
2、如权利要求1所述的发光器件制造方法,其特征在于,焊接物质膜是InSn,在总重量中Sn占10wt%-55wt%。
3、如权利要求1所述的发光器件制造方法,其特征在于,焊接物质膜是InZn,在总重量中Zn占1wt%-4wt%。
4、如权利要求1所述的发光器件制造方法,其特征在于,焊接物质膜是InAg,在总重量中Ag占1wt%-5wt%。
5、如权利要求1所述的发光器件制造方法,其特征在于,焊接物质膜是InBi,在总重量中Bi占1wt%-60wt%。
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