[发明专利]化学机械平坦化终点检测方法

权利要求书

1.一种化学机械平坦化终点检测方法，包括：

利用样片，以单一平坦化速率进行基础终点检测；

根据基础终点检测结果将实际终点检测过程分为第一步骤及第二步骤；

在实际终点检测过程中设定第一平坦化速率及第二平坦化速率；

以所述第一平坦化速率进行第一步骤；以所述第二平坦化速率进行第二步骤；

顺序进行第一步骤及第二步骤，完成实际终点检测。

2.根据权利要求1所述的终点检测方法，其特征在于：所述平坦化材料包括微起伏层、起伏增长层及均匀层。

3.根据权利要求2所述的终点检测方法，其特征在于：所述第一步骤包括对微起伏层进行终点检测。

4.根据权利要求2所述的终点检测方法，其特征在于：所述第二步骤包括第一步骤后的终点检测。

5.根据权利要求1所述的终点检测方法，其特征在于：所述将终点检测过程分为第一步骤及第二步骤的方法包括：

确定平坦化材料表面起伏高度和单一平坦化速率，并计算基础终点检测总时间；

根据基础终点检测总时间，获取对应微起伏层基础终点检测时间；

利用微起伏层基础终点检测时间，计算微起伏层厚度；

根据微起伏层厚度及第一平坦化速率，计算微起伏层实际终点检测时间；

以第一平坦化速率持续所述微起伏层的实际终点检测时间，进行所述第一步骤；

所述第一步骤完成后，进行所述第二步骤。

6.根据权利要求5所述的终点检测方法，其特征在于：所述计算微起伏层厚度的方法包括：计算微起伏层基础终点检测时间和单一平坦化速率的乘积。

7.根据权利要求5所述的终点检测方法，其特征在于：所述计算微起伏层厚度的方法包括：计算微起伏层实际终点检测时间与终点检测总时间的比值后，再计算所述比值与平坦化材料表面起伏高度的乘积。

8.根据权利要求1所述的终点检测方法，其特征在于：所述第一平坦化速率大于所述第二平坦化速率。

9.根据权利要求3所述的终点检测方法，其特征在于：所述终点检测过程包括：

以第一平坦化速率持续微起伏层实际终点检测时间，实施第一步骤；

以第二平坦化速率，完成第二步骤。

10.一种化学机械平坦化方法，包括：

利用样片，以单一平坦化速率进行基础平坦化操作，并进行基础终点检测；

根据基础终点检测结果将实际平坦化操作过程分为第一步骤及第二步骤；

在实际平坦化操作过程中设定第一平坦化速率及第二平坦化速率；

以所述第一平坦化速率进行第一步骤；以所述第二平坦化速率进行第二步骤；

顺序进行第一步骤及第二步骤，完成实际平坦化操作。

11.根据权利要求10所述的终点检测方法，其特征在于：所述平坦化材料包括微起伏层、起伏增长层及均匀层。

12.根据权利要求11所述的终点检测方法，其特征在于：所述第一步骤包括对微起伏层进行平坦化操作。

13.根据权利要求11所述的终点检测方法，其特征在于：所述第二步骤包括第一步骤后的平坦化操作。

14.根据权利要求10所述的终点检测方法，其特征在于：所述将平坦化过程分为第一步骤及第二步骤的方法包括：

确定平坦化材料表面起伏高度和单一平坦化速率，并计算基础平坦化总时间；

根据基础平坦化总时间，获取对应微起伏层基础平坦化时间；

利用微起伏层基础平坦化时间，计算微起伏层厚度；

根据微起伏层厚度及第一平坦化速率，计算微起伏层实际平坦化时间；

以第一平坦化速率持续所述微起伏层实际平坦化时间，进行所述第一步骤；

所述第一步骤完成后，进行所述第二步骤。

15.根据权利要求14所述的终点检测方法，其特征在于：所述计算微起伏层厚度的方法包括：计算微起伏层基础平坦化时间和单一平坦化速率的乘积。