[发明专利]氯化铵和四氯化钛络合物回收装置有效

专利信息
申请号: 200610028917.8 申请日: 2006-07-13
公开(公告)号: CN101104519A 公开(公告)日: 2008-01-16
发明(设计)人: 王秀鹏 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: C01C1/16 分类号: C01C1/16;C01G23/02
代理公司: 北京市金杜律师事务所 代理人: 李勇
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 氯化铵 氯化 络合物 回收 装置
【权利要求书】:

1.氯化铵和四氯化钛络合物回收装置,是包括:圆桶形外壳,多片氯化铵粉末回收片(A,B),和冷却水管的冷阱;

其特征是,冷阱内收集氯化铵粉末的回收片A和B是两种结构不同的回收片,回收片A是直径比较小没有孔的圆形,回收片B是直径比较大的中心有圆形孔的圆环形,圆桶形外壳的内壁与收集氯化铵粉末的圆环形回收片B的边缘之间几乎没有间隔,

冷阱内的多片回收片A和回收片B按规定间隔交替设置,冷却水管与多片氯化铵粉末回收片焊接在一起;冷阱内最上部的氯化铵回收片是直径比较小没有孔的圆形回收片A,冷阱内最下部的氯化铵回收片是直径比较大的中心有圆形孔K的圆环形回收片B,两种回收片按上部的间隔大,下部的间隔小的方式交替设置,因而形成弯曲的废气通道,延长了废气通道长度,减少了从上到下的各个回收片上收集的氯化铵粉末数量的差别,使位于冷阱下部的氯化铵废物回收片上也能收集到大量的氯化铵废物粉末。

2.按照权利要求1的氯化铵废物回收装置,其特征是,直径比较小没有孔的圆形回收片A的直径Da范围是165mm到170mm;圆环形回收片B的外径Db是270mm到280mm,圆环形回收片B的内径Dk范围是110mm到130mm。

3.按照权利要求1的氯化铵废物回收装置,其特征是,直径比较小没有孔的圆形回收片A的优选直径Da是160mm;优选的圆环形回收片B的外径Db是275mm,优选的圆环形回收片B的内径Dk是120mm。

4.按照权利要求1的氯化铵废物回收装置,其特征是,氯化铵粉末回收装置内所设置的直径比较小的圆形回收片A和直径比较大的圆环形回收片B的数量分别是4片。

5.按照权利要求4的氯化铵废物回收装置,其特征是,从冷阱内最上边的直径比较小的圆形回收片A开始向下数,第一片直径较小的圆形回收片A到第四片直径比较大的圆环形回收片B,相邻两片回收片之间的间隔是3cm;从第四片直径比较大的回收圆片B到第八片直径比较大的回收圆片B,相邻两片回收圆片之间的间隔是2cm。

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