[发明专利]探针卡装置有效
| 申请号： | 200610028785.9 | 申请日： | 2006-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101105504A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 刘云海;简维廷;张荣哲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 装置 | ||
1.一种芯片测试系统，所述芯片测试系统包括测试仪和探针台，所述探针台具有能够安装专用探针卡的卡槽，其特征在于：所述系统还包括探针卡装置，所述装置包括转接板和通用探针卡，所述通用探针卡设置于所述转接板上；所述转接板安装于所述探针台的卡槽中；所述通用探针卡通过电缆与所述测试仪连接。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于：所述转接板具有上表面和下表面，其中间区域具有一开口。
3.如权利要求2所述的系统，其特征在于：所述转接板的外形尺寸与所述专用探针卡相同。
4.如权利要求1所述的系统，其特征在于：所述通用探针卡具有焊盘区和探针区。
5.如权利要求2或3或4所述的系统，其特征在于：所述通用探针卡通过连接件固定于所述转接板的上表面，并使所述焊盘区和探针区从所述开口中露出。
6.如权利要求5所述的系统，其特征在于：所述探针区上的探针低于所述转接板的下表面。
7.如权利要求1所述的系统，其特征在于：所述转接板上具有与所述专用探针卡位置相对应的通孔。
8.如权利要求1或7所述的系统，其特征在于：利用所述通孔将所述转接板固定于所述卡槽中。
9.如权利要求6所述的系统，其特征在于：所述探针与被测芯片的测试点接触。
10.一种用于芯片测试系统的探针卡装置，所述系统具有专用探针卡，其特征在于：所述装置包括转接板和探针卡，所述转接板具有与所述专用探针卡相同的外形尺寸，所述探针卡安装于所述转接板上。
11.如权利要求10所述的装置，其特征在于：所述转接板具有上表面和下表面，其中间区域具有一开口。
12.如权利要求10所述的系统，其特征在于：所述转接板的外形尺寸与所述专用探针卡相同。
13.如权利要求10所述的系统，其特征在于：所述探针卡具有焊盘区和探针区。
14.如权利要求11或12或13所述的系统，其特征在于：所述探针卡通过连接件固定于所述转接板的上表面，并使所述焊盘区和探针区从所述开口中露出。
15.如权利要求14所述的系统，其特征在于：所述探针区上的探针低于所述转接板的下表面。
16.如权利要求10所述的系统，其特征在于：所述转接板上具有与所述专用探针卡位置相对应的通孔。
17.如权利要求10或16所述的系统，其特征在于：利用所述通孔将所述转接板固定于所述卡槽中。
18.如权利要求10所述的系统，其特征在于：所述探针卡是通用探针卡。
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