[发明专利]检测层间膜非正常研磨的装置及其实现方法

权利要求书

1、一种检测层间膜非正常研磨的装置，其特征在于，在研磨机台下有一透明容器，该透明容器接收研磨产物和化学试剂，在该透明容器的外面器壁上有一传感器和一报警装置。

2、如权利要求1所述的检测层间膜非正常研磨的装置，其特征在于，所述的化学试剂包括芦丁和甲醇、盐酸的混合液。

3、如权利要求1所述的检测层间膜非正常研磨的装置，其特征在于，所述的传感器为颜色识别传感器。

4、一种权利要求1-3任一项所述的检测层间膜非正常研磨的装置的实现方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，当研磨每一片产品时，收集少量的研磨产物和化学试剂，当正常研磨时，不会有金属离子产生，透明容器为乳白色不会报警；

步骤2，当研磨到金属层时，研磨产物含有活泼的金属离子和化学试剂反应生成非乳白色的化合物；

步骤3，传感器检测到非乳白色时，就报警并停止研磨；

步骤4，技术人员收到报警信号后确认采取相应的处理措施，检测完后就释放掉检测液。

5、如权利要求4所述的检测层间膜非正常研磨的装置的实现方法，其特征在于，步骤2中所述的活泼的金属离子为铝离子，所述的非乳白色的化合物为黄色的化合物。