[发明专利]电弧涂层石英玻璃坩埚的生产设备及其制造工艺无效

专利信息
申请号: 200610028634.3 申请日: 2006-07-05
公开(公告)号: CN101085696A 公开(公告)日: 2007-12-12
发明(设计)人: 王龙森;朱锡剑;赵庆良;王和平 申请(专利权)人: 上海新沪玻璃有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00;C03B5/06;C03B19/01
代理公司: 上海智力专利商标事务所 代理人: 杨秀刚
地址: 201800*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 电弧 涂层 石英玻璃 坩埚 生产 设备 及其 制造 工艺
【权利要求书】:

1.电弧涂层石英玻璃坩埚的生产设备,包括石墨模具,其特征是:在石墨模具内设有石英加料棒,石英加料棒与加料瓶相通,在石英加料棒的中间设有旋转接头,在加料瓶内设有振动器。

2.根据权利要求1所述的电弧石英玻璃坩埚的生产设备,其特征是:在石墨模具上方设有气体导流板。

3.一种采用权利要求1或2所述的生产设备制造电弧涂层石英玻璃坩埚的工艺,其特征是:采用可调控的电磁振动,通过调整电流在0.8~1.2A之间,达到调整振幅的目的,保证颗粒度为80~120目水晶粉按生产坩埚规格的大小在2~5分钟内,按照加料速度以每分钟120-150g让粉料均匀地加到坩埚内;同时,通过调节旋转接头,使石英加料管以与旋转轴15度的角度往返摆动,从而使水晶粉料均匀地喷涂到坩埚内壁不同位置。

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